ULVACの電源を利用する3つのメリット

装置稼働率のUP

豊富な実験検証設備による
高い信頼性の実現

安心のサポート

全国34か所のサービス拠点、および
強力なASIAのサービスネットワーク

細かな要件に対応

40年におよぶ様々な電源経験を
活かした開発

ULVACの豊富な電源ラインアップ

RF電源 製品紹介ビデオ

EB電源 製品紹介ビデオ

大容量DC電源

長年培ってきた電源のアプリケーションノウハウを
設計に反映したスパッタリング用DC電源

製品詳細

大容量DC電源 DPGシリーズ

異常放電防止ユニット
A2Kシリーズ

後付けパルスユニット、高スループット異常放電防止
ユニット

製品詳細

異常放電防止器 A2Kシリーズ

RF電源/マッチングボックス
RFS-Nシリーズ

高速マッチング機能搭載プラズマプロセス用RF電源

製品詳細

RF電源 RFS-Nシリーズ

EB電源
HPSシリーズ

思いのままのSweep波形、エレクトロンビーム蒸発源専用の電源

製品詳細

EB電源 HPSシリーズ
ULVACの「成膜用電源」に関するお問合せ