ロッドガイド部にエアベアリングを採用したエアシリンダです。ロッドとガイド間が非接触となるため、摺動抵抗がありません。
抵抗がないためソフトタッチな微荷重・低速での精密駆動が可能です。狙った値に出力が可能なため精密研磨装置などの精密な荷重制御を必要とする用途に好適です。クリーンルーム対応も可能です。