Equipment News November 2011

■ 新世代のプロセス用ドライポンプ誕生

		新製品：CXSケミカルドライ真空ポンプ エドワーズは、過去の実績に満足することはありません。エドワーズの新しい真空ポンプ製品は、すべて従来の限界を超える性能を備えています。常に最新の材料とテクノロジーを投入することで、いつの時代でもお客様の業界に適した効率的で故障がなく運転音も静かな製品を提供することが目標です。そしてCXSポンプは、まさにこのコンセプトを体現しています。CXSポンプは設置も使用も容易で、信頼性が高いと同時に、所有コスト（CoO: Cost of Ownership）が低くまた環境にやさしい製品です。
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業界ニュース

■ セミコンウエスト2011でエドワーズ除害装置が受賞！！ 　　Semicon West Sustainable Technologies Award

		エドワーズは、2011 SEMICON West Sustainable Technology Awardを受賞しました。統合排気システム（除害装置）eZenithが業界の専門化で構成された委員会で選出されたことは、生産と環境の両方に対するeZenithの重要性を示すものです。 eZenithは真空ポンプと除害装置が1つのシステムに統合されたものであり、生産プロセスおよび環境の最新の要求に応える、効率性が高く所有コスト(CoO)が低いソリューションを提供します。
Sustainable Technologies Award		詳細はこちら

■ 太陽電池ラミネーター用の新型ドライポンプGXSシリーズを発表

		エドワーズは、太陽電池のラミネーター用に最適化されたGXS 450および750シリーズのドライ真空ポンプを発表しました。この新しいGXSシリーズは、処理能力と生産性に優れていると同時に、所有コスト(CoO)もさらに低くなっています。 GXS 450および750ポンプは、高度なラミネーター処理におけるチャンバ真空排気時間が高速化されており、生産性が向上しています。オプションのブースターパッケージを使用すれば、プロセスチャンバの排気時間と、ラミネーションサイクル時間がさらに短縮されます。
Edwards turbomolecular pump nEXT300		詳細はこちら

■ 新製品：iXH500Hドライポンプシリーズを販売開始

		エドワーズは、液晶、太陽電池プロセス並びに高いガス流量条件やプロセス温度に柔軟な対応を求められる半導体プロセスに最適なドライポンプiXH500Hシリーズ（500m3/h）を販売開始いたしました。 iXH500Hシリーズは,エネルギーコストの低減やMTBSの延長可能になっただけでなく、従来のiXH450シリーズと比較して設置面積の低減と水素排気性能を向上しています。
Cheonan Factory Opening		詳細はこちら

■ エドワーズが東南アジア地域で初めての認定サービスプロバイダー契約を締結

		エドワーズは東南アジア地域で初めて、シンガポールに本拠を置くWing Wah Industrial Services Pte Ltd.との認定サービスプロバイダー（ASP：Authorised Service Provider）契約を締結しました。Wing Wah Industrial Servicesは、この地域におけるエドワーズのiDX/CDX、HV8000、Stokes、およびLRP真空ポンプの修理業務を担当していますが、今回の契約によって、ユーザーには輸送距離の短縮による時間とコストの削減効果がもたらされます。 この新しい契約により、地域内でOEMと同等の基準でポンプの修理を受けることが可能になり、エンドユーザーは大きなメリットを得ることができます。
Lutin Facility Opening		詳細はこちら

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